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真空度測試儀的研制與應用

返回打印來(lái)源：儀天成電力時(shí)間：2013/07/30 閱讀：次

       真空度測試儀的主要作用是,根據磁控放電的方法測量真空泡內離子電流,以此量測量泡內真空度,并可用于評定真空泡使用壽命。該測試儀既可用于真空泡出廠(chǎng)檢測流水線(xiàn),也可單獨進(jìn)行測量。
       基本工作原理
       磁控放電法測試真空度的基本原理如下:將真空泡兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距,并置于通有大電流的螺線(xiàn)管內,在兩觸頭間施加高壓脈沖,從而在真空泡內產(chǎn)生高壓電場(chǎng)和軸向脈沖磁場(chǎng)。這樣,在脈沖強磁場(chǎng)和強電場(chǎng)的作用下,真空泡中的電子作螺旋運動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞產(chǎn)生電離,生成的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。
       研制的測試儀可用于測量泄漏電流、全電流和離子電流3個(gè)電流值。
       (1)泄漏電流。將真空泡動(dòng)靜觸頭拉開(kāi)一定的間距,并加高壓直流脈沖電壓,則會(huì )在兩觸頭間、觸頭和屏蔽罩間產(chǎn)生強電場(chǎng)。根據場(chǎng)致發(fā)射理論,陰極和屏蔽罩表面會(huì )發(fā)射出電子,向陽(yáng)極運動(dòng),形成電流,即泄漏電流。由于電子的自由行程遠遠大于兩觸頭間距,電子幾乎不與真空泡內殘余氣體分子發(fā)生碰撞,所以泄漏電流不能正確反應真空泡的真空度。
       (2)全電流。為了使泄漏電流的電子能夠與殘余氣體分子發(fā)生碰撞,目前常用的方法是在軸向上加一較強的磁場(chǎng),使得場(chǎng)致發(fā)射的電子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下發(fā)生螺旋運動(dòng),這加大了電子運動(dòng)的行程及與殘余氣體分子發(fā)生碰撞的概率。當電子與殘余氣體分子發(fā)生碰撞后會(huì )產(chǎn)生電離現象,并形成穩定的自持放電,這時(shí)測量出的電流值為全電流值。
       (3)離子電流。全電流的測量值包括了陰極和屏蔽罩發(fā)射的泄漏電流,以及殘余氣體被碰撞后產(chǎn)生電離的離子電流。為了準確測量真空泡內的真空度,還得從全電流中減掉泄漏電流值,得到的才是真正反映真空泡真空度的離子電流值。真空泡使用壽命評定原理:真空泡隨著(zhù)正常使用時(shí)間的增長(cháng),內部真空度也呈線(xiàn)性增加。通過(guò)測定兩個(gè)間隔時(shí)間比較恰當時(shí)的真空度,就可確定其變化率,從而確定使用過(guò)任意時(shí)間后真空泡真空度的大小。

      主題詞：真空度測試儀工作原理

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